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板式PECVD上下料機

產品特點

最高產能可達到6000pcs/h 

可根據客戶需求進行定制 

設備結構簡單穩定

技術參數

技術參數相關參數
產速 4000 /6000 pcs/h(可訂制)
碳框尺寸 

10*10（5*5，5*6，8*10,9*10 可選）

硅片尺寸 

166mm-210mm

碎片率  ≤0.02%
開機率≥98%
功率15kW
耗氣量500L/min
具體參數如有變動，本公司不另行通知！
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